문서의 임의 삭제는 제재 대상으로, 문서를 삭제하려면 삭제 토론을 진행해야 합니다. 문서 보기문서 삭제토론 포토 리소그래피 (문단 편집) === MASK 생성 === 설계가 완료된 도면(Layout)을 마스크(MASK) 형태로 변환하는 작업을 말한다. 이는 장비에서 Design 파일 그 자체로는 인식하지 못하기 때문이다. 인식하는 Format이 다 달라서 장비에 맞게 변환해주어야 하는 점도 있다. 또한 Design 파일을 그대로 사용하면 문제가 되기도 해서 공정 미세화에 따라 OPC와 같은 추가 작업이 진행되기도 한다. 마스크는 크롬이 칠해진 석영유리판에 만드는데, 빛 (가시광선, 자외선, X선 등)을 이용하여 패턴을 생성한다. 또한 마스크는 1개의 설계도면에 대해 여러 장을 만드는데, 이는 포토 공정용 장비가 워낙 흑백 인식성이 강하여 겹치는 부분에 대한 인식이 취약하기 때문이다. 때문에 마스크 패턴을 한장씩 완성시켜나가는 방식으로 공정이 진행되게 된다.저장 버튼을 클릭하면 당신이 기여한 내용을 CC-BY-NC-SA 2.0 KR으로 배포하고,기여한 문서에 대한 하이퍼링크나 URL을 이용하여 저작자 표시를 하는 것으로 충분하다는 데 동의하는 것입니다.이 동의는 철회할 수 없습니다.캡챠저장미리보기